SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標(biāo)準(zhǔn)品 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角。 SRM 2000 的一個(gè)單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 (100) 取向的單晶硅樣品組成，具有標(biāo)稱 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm 硅帽。

這些認(rèn)證值可用于校準(zhǔn) HRXRD 儀器。

搬運(yùn)、儲(chǔ)存和使用說明儲(chǔ)存和搬運(yùn)：

外延層可能損壞或晶片機(jī)械應(yīng)變；因此應(yīng)避免與SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射標(biāo)準(zhǔn)品 的前表面接觸。要去除表面污染物，請(qǐng)使用過濾后的氮?dú)?。峰輪廓：測量的衍射峰明顯不對(duì)稱。支持性測量表明，這種不對(duì)稱性可能不完全是由于儀器效應(yīng)造成的，但部分是由于SRM 2000原料的特性造成的。因此，使用分裂Pearson VII輪廓來擬合和估計(jì)峰值位置，并建議用于確定校準(zhǔn)的峰值位置。由于不對(duì)稱性對(duì)輪廓位置確定的不同影響，使用另一個(gè)輪廓函數(shù)可能會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)內(nèi)偏差。

使用

建議使用Si（220）傳輸中測量的d-間距：直接使用經(jīng)過認(rèn)證的d-間距進(jìn)行校準(zhǔn)，dSRM需要一個(gè)可以測量傳輸幾何形狀的儀器。如果可能的話，可以校準(zhǔn)儀器單色器的波長λinst或Si（220）反射附近的角度測量值Δθinst。

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